硅片无尘室自动化联网烘箱 QMO

硅片无尘室烘干箱 硅片专用烘烤设备 自动化联网烘箱

智能烘箱过程管理系统由上海旦顺实业有限公司自主研发，基于TCP/ip协议，与工厂系统对接，实现自动化烘烤，过程管理。控制方便、操作简单、灵活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的构造，大大提高生产效力！

高温无氧烤箱特点：

◆ 可接入MES和ERP通讯

◆ 具有氮气控制系统，箱体内充入氮气，防止产品氧化功能。

◆ 具有延时加热功能，加热之前延时充氮，有效保证箱体内的无氧环境，避免高温氧化

◆ 双流量计设计，当箱内充满氮气后，自动切换为小流量节省氮气，高效节能！

◆ 水冷密封圈设计保证设备在500℃高温运行时完整的密封效果

◆ 大门与加热器/风门互锁功能

◆ 可连电脑，实现同时监测与控制多台设备

◆ 智能控制系统,历史数据、操作、报警数据查询，记忆操作步骤，操作便捷

◆ 智能化多段可编程控制，真正实现复杂的试验过程自动控制和运行

主要技术参数

温度范围：室温+20℃～500℃

均匀度：±2%

洁净等级：Class100级

含氧量：<=20PPM

升温速度：常温～+400℃,升温速率：0~7℃/min，升温斜率程序可控

降温速度：降温斜率程序可控

控制精度：±0.5℃

分辨率：±0.1℃

公司名称：上海旦顺实业有限公司